铣削工序本质上是一种断续加工过程。这会使切削刃处的温度在高温（约1000 ℃） 与低温之间不断地波动。一、切削液的影响当切削刃切入和切出时，温度变化会加剧。因此，切削刃会受到热冲击和周期性应力，这导致可能产生裂纹，在坏的情况下可能导致刀具有效寿命过早结束。
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薄膜沉积工艺，分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和外延三大类。
北方华创的PVD设备已经用于28nm生产线中，14nm工艺设备也已实现重大进展。
沈阳拓荆的PECVD设备已在中芯国际40-28nm产线使用，ALD设备也在14nm工艺产线通过验证。
小结：技术上完全没问题。
7）抛光设备
晶圆制造的后期，需要对硅片表面进行平坦化处理，杰菲特电磁阀，这就用到了抛光机。
该领域的龙头是华海清科，目前处于科创板上市辅导中。
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华海清科成立于2013年，实际控制人为清华大学，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室。
根据中国国际招标网的信息，今年上半年，华海清科在华虹半导体（无锡）项目获得3台CMP，累计获得5台CMP订单，在该产线的CMP 市占率是38%。
此外，华海清科还中标上海新昇1台CMP设备，在长江存储的CMP设备份额为14.9%。
华海清科还参与了国家02专项项目——“28-14nm抛光设备及工艺、配套材料产业化”项目，是我国在抛光设备领域的企业。
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